廣東某半導(dǎo)體企業(yè)需要對硅片進行質(zhì)量檢測,以確保其符合生產(chǎn)要求。為了更準確地觀察硅片的表面結(jié)構(gòu)和缺陷,明慧工程師推薦了合適的顯微解決方案,最終該企業(yè)選擇了MHML3230金相顯微鏡搭配MHS600攝像頭進行觀察,展現(xiàn)出了顯著的性能優(yōu)勢,獲得高清晰度、可靠的圖像,能夠精確觀察和記錄硅片表面結(jié)構(gòu)、缺陷和污染等細節(jié),在實際應(yīng)用中取得良好的效果。
MHML3230正置金相顯微鏡采用無限遠光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計,確保了圖像的清晰度和對比度,使得硅片的微觀結(jié)構(gòu)能夠得以精準展現(xiàn)。配合MHS600攝像頭的高分辨率,可以捕捉到硅片表面的微小細節(jié),實現(xiàn)高質(zhì)量的顯微攝影,將觀察到的硅片圖像實時傳輸?shù)接嬎銠C上進行處理和分析,并且對圖像進行調(diào)整、標注、拼接、合成、測量等操作,形成圖文文件,為后續(xù)的硅片分析提供重要的數(shù)據(jù)支持,大大提高工作效率。
MHML3230正置金相顯微鏡和顯微鏡攝像頭MHS600拍攝硅片實拍效果圖:
儀器清單:
正置金相顯微鏡MHML3230
MingHui顯微成像軟件
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